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一种基于交变光场的时栅直线位移传感器

专利号: ZL2013106322998

专利类型: 国家发明专利

所在单位: 机械检测技术与装备教育部工程研究中心

项目负责人: 付敏

申请日期: 2013/11/29 0:00:00

授权公告日期: 2016/5/11 0:00:00

证书号: 2065293

公告号: CN103591896B

学科: 工学

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